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德國(guó)蔡司ZEISS
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蔡司ZEISS掃描電鏡的SE探頭詳解


?  蔡司ZEISS掃描電鏡的SE探頭,5KV看到淺層電路,30KV看到深層電路,兩個(gè)圖像一目了然,可是為什么掃描電鏡?的SE探頭可以看到深層電路呢??

  二次電子不是說(shuō)小于10納米的淺層才能出射的嗎,難道加速電壓高了,有深層二次電子出射嗎?或者SE探頭接受的是BSE,所以才能看到深層電路?討論了一下,發(fā)現(xiàn)想解答清楚這個(gè)提問(wèn),SE、SE的探頭類(lèi)型、BSE、BSE的探頭類(lèi)型,這是一定要說(shuō)的,然后會(huì)引出SE和BSE圖像的襯度問(wèn)題,荷電問(wèn)題...(這里就要麻煩啦...電荷不存在了,正荷電、負(fù)荷電怎么解釋?)談到荷電必然引出鍍膜、低真空(包括低真空探頭等),跟著是In-Beam SE探頭、In-Beam BSE探頭,減速技術(shù)等,最后是復(fù)雜的In-Beam SE探頭接受SE和BSE像…如果都說(shuō)完了,好像掃描電鏡成像就基本講完了,這篇幅也太大。沒(méi)辦法這次先填第一個(gè),介紹一下SE,以后爭(zhēng)取再一一解答。二次電子(Secondary Electron)是吸收能量后激發(fā)的樣品原子核外的電子,一般認(rèn)為能量小于50eV,出射深度只有10納米。

  二次電子的產(chǎn)率與電子束入射角度相關(guān),對(duì)原子序數(shù)不敏感,其實(shí)二次電子對(duì)原子序數(shù)20以前的還是敏感的。
  入射電子在樣品深層也會(huì)激發(fā)出二次電子,但這些二次電子會(huì)被吸收掉,無(wú)法出射,所以我們接受到的二次電子都是淺層出射的。
?蔡司掃描電鏡
  但背散射電子也會(huì)在樣品淺層激發(fā)二次電子,由于背散射電子出射深度大,樣品深層的成分、結(jié)構(gòu)自然影響背散射電子的空間分布、強(qiáng)度,進(jìn)而也影響二次電子的激發(fā),自然這些二次電子也就帶有了樣品深層的信息。所以當(dāng)加速定壓提高時(shí),更多的深層背散射電子出射,它們激發(fā)了更多的帶有深層信息的二次電子,所以我們也就看到了更多的樣品深層信息。
  蔡司ZEISS掃描電鏡根據(jù)二次電子的激發(fā)源頭,可將二次電子SE分為SE1,SE2,SE3。SE1即為入射電子激發(fā)的二次電子,對(duì)極表面的信息反映zui佳;SE2是由背散射電子在樣品表面激發(fā)的二次電子,帶有樣品深層信息;SE3則是背散射電子在物鏡下沿表面激發(fā)的二次電子,基本不反應(yīng)樣品信息。一般我們接收到的都是SE1,SE2的混合像,隨著加速電壓的提高,SE2比例也在提高,自然深層信息越多。

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